Для обработки материалов с использованием активных ионов применяется плазмохимическое травление. Данная технология на данный момент считается одной из самых популярных. Поэтому стоит разобраться, что собой представляет плазмохимическое травление, как это работает и где применяется такая технология.
Что собой представляет плазмохимическое травление
Метод основан на том. Чтобы обрабатывать различные материалы используя газ, который превращается в плазму. Благодаря такому способу обработки можно удалить лишний материал, сохраняя его поверхность. Сфера применения этой технологии обширна, но чаще всего применяется в электронике и медицине.
Принцип работы выглядит следующим образом:
- В специальной камере создается электрическое поле. Его задача заключается в том, чтобы ионизировать газ. Как правило, применяется аргон или кислород, но есть и другие виды газов, которые также подходят для ионизации.
- После того, как газ превращается в плазму, начинается применение данной технологии. Суть заключается в том, что активные частицы начинают постепенно разрушать ненужный слой, сохраняя основную часть материала.
- В конечном счете необходимо удалить все отходы, которые остаются во время отделения. Для этого может применяться высокое давление, реже используется вакуумная система.
Данный метод можно показаться одним из самых сложных, но в реальности речь идет о базовых физических процессах.
Почему метод стал настолько популярным
К основным преимуществам можно отнести:
- можно выполнить очень точную обработку. К примеру, в электронике можно снять слой до нанометров, что позволяет получать высококачественные изделия;
- подходит для обработки материалов, которые по своим свойствам являются очень хрупкими;
- в процессе очистки нет сильного нагрева. Это важно, ведь существуют материалы, которые из-за высоких температур могут деформироваться или терять часть своих свойств;
- обработка можно применяться для разнообразных материалов. К примеру, можно очистить платы или стекло от различных загрязнений, которые формировались на поверхности.
Нужно отметить, что данный тип применяется во многих сферах. Чаще всего с помощью него создают тонкие и очень сложные структуры во время изготовления различных чипов. Также с помощью него можно обрабатывать линзы, фильтра, детали повышенной прочности и многое другое.
